Synthèse de matériaux 2D par CVD
Description
La synthèse de matériaux bi-dimensionel (2D) de la famille des Dichalcogenure de Métaux de Transition (TMDs) est réalisée au C2N par Dépôt Chimique en phase Vapeur (CVD) sur support amorphe (silice) ou substrat Graphene/SiC pour obtenir des monocristaux d’extension latérale 20-100 micromètres et d’épaisseur contrôlée (1 ou 2 mono-feuillet). Un microscope optique par contraste interférentiel différentiel (DIC) est associé à cet équipement pour l’étude des caractères morphologiques des échantillons obtenus.
Localisation
Centre de Nanosciences et Nanotechnologie (C2N), Palaiseau.
Contacts
Responsable de la plateforme : Fabrice OEHLER
Coordonnateur du projet ciblé associé : Yann LECONTE
Caractéristiques techniques
* Réacteur CVD horizontal tubulaire (Nabertherm).
* Pression admissible 2-200 mbar, Ar, N2, H2. Température de travail maximum 950°C.
* Matériaux en croissance stabilisée : WSe2.
* Matériaux en développement : MoSe2, WTe2.
* Microscope optique par contraste interférentiel différentiel (DIC) dédié.
Projet ciblé associé
