Nano-hybrid 1D/2D (ANAPURNA)

La plateforme ANAPURNA (Artificial-iNtelligence-Assisted Platform for Ultimate pRoduction of NAnocomposite coatings) repose sur un procédé « safe-by-design » d’élaboration sur des substrats de 2 pouces de revêtements nanostructurés composés de nanoparticules enrobées dans une matrice en combinant les jets de nanoparticules avec la pulvérisation magnétron. Le procédé permet de choisir indépendamment la nature chimique des nanoparticules et celle de la matrice dans une large gamme.

Commissariat à l’énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA-Saclay).

Responsable de la plateforme : Olivier SUBLEMONTIER

Coordonnateur du projet ciblé associé : Yann LECONTE


Les nanoparticules sont acheminées par voie aérodynamique à l’aide de lentilles aérodynamiques. Le réacteur peut être couplé au réacteur de Spray Pyrolyse en Flamme de FastNano ou utiliser un générateur d’aérosol alimenté par une suspensions de nanoparticules préalablement synthétisées. Le prototype comprend 3 lentilles aérodynamiques permettant le dépôt simultané ou séquentiel de 3 types de nanoparticules différents sur la même surface d’un substrat. Le matériau composant la matrice est déposé simultanément par pulvérisation magnétron à l’aide de 3 cathodes qui peuvent être utilisées soit simultanément, soit séquentiellement. Le dépôt résultant peut donc être un assemblage complexe et maitrisé dans son épaisseur, homogène sur sa surface, donnant lieu à des revêtements multifonctionnels. La plateforme ANAPURNA, entièrement automatisée, sera équipée d’un système de caractérisation in situ et en temps réel de la composition élémentaire des revêtements par spectroscopie de plasma induit par laser (LIBS). Le traitement IA des données LIBS in situ et en temps réel d’ici quelques années permettra une analyse élémentaire 3D a postériori du revêtement, et donc une convergence plus rapide vers le nanocomposite désiré.