Equipement DLI-MOCVD ANTIDOTE
Description
L’équipement de DLI-MOCVD ANTIDOTE (Direct Liquide Injection-MetalOrganic Chemical Vapor Deposition) est un équipement de CVD qui fonctionne par injection de solution liquide. Les solutions sont composées d’un solvant et d’un précurseur. Les précurseurs sont des organométalliques qui se déposent à faible températures. Cet équipement permet de réaliser des revêtements sur des surfaces complexes à des températures de quelques centaines de °C.
Localisation
CEA-Saclay, DES/ISAS/DRMP/S2CM, Bâtiment 458.
Contacts
Responsables de la plateforme : Romain CHANSON
Coordonnateur du projet ciblé associé : Ioana NUTA
Caractéristiques techniques
L’équipement de DLI-MOCVD ANTIDOTE est composé d’un four tubulaire dans lequel est glissé un réacteur en acier de 15 cm de diamètre 130 cm de long. Il est possible de remplacer le réacteur par un réacteur de plus petite taille voire de le remplacer par un tube pour en recouvrir l’intérieur. Sa zone isotherme fait 90 cm de long. Le précurseur est injecté sous forme liquide par l’intermédiaire d’une solution composée du précurseur et d’un solvant. La solution est injectée dans une unité de vaporisation appelée VapBox. Les gaz réactifs ou de dilutions sont injectés en aval de la vaporisation de la solution et en amont du réacteur. La figure 1 présente une photo de l’installation.
Le revêtement est réalisé sous vide entre 2 et 100 mbar. La température de dépôt est comprise entre 150 °C – 500 °C suivant les précurseurs et la vitesse de revêtement voulue.
Actuellement, il est possible de réaliser des revêtements d’oxydes métalliques et de carbure de chrome. Le dépôt d’oxydes mixtes est aussi possible.
Projet ciblé associé
