Caractérisation operando de structure électronique sous contrainte électrique

Description

Porte-échantillon pour des analyses en spectroscopie des photoélectrons en fonction du biais appliqué.

Localisation

CEA Saclay

Contacts

Responsable plateforme : Nick BARRETT

Coordonnateur du projet ciblé associé : Jérôme WOLFMAN

Caractéristiques techniques

  • FerroVac Shomec porte-échantillon adapté pour l’application de Vbias fiable sur jusqu’à 12 dispositifs (condensateurs, jonctions tunnels…), grâce aux pads intermédiaires et interconnects intégrés au porte-échantillon.
  • Compatibles avec l’expérience HAXPES de la ligne Galaxies (Synchrotron Soleil) et avec le système XPS au CEA/SPEC à Saclay.
  • Dimensions de l’échantillon : 5×5 mm2
  • Wire-bonding entre dispositifs et pads intermédiaires
Empilement typique pour XPS/HAXPES operando
Schéma du câblage de 8 dispositifs aux pads intermédiaires du Shomec
Image du Shomec et receptacle disponible

Projet ciblé associé

MicroElec
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Elaboration et caractérisation haut débit d’hétérostructures pour des applications microélectroniques

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